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用熱處理來(lái)增強(qiáng)氧化鋅中的氮摻雜

點(diǎn)擊次數(shù):52041 更新時(shí)間:2015-01-10 04:04:13?? ??來(lái)源:http://m.highmindedu.com/ 【關(guān)閉
       氧化鋅廠(chǎng)通過(guò)熱處理來(lái)增強(qiáng)氧化鋅中的氮摻雜的研究工作已經(jīng)展開(kāi)。使用光致電子順磁共振技術(shù)(EPR),并在空氣或者氮?dú)夥障略?00-900溫度范圍內(nèi)退火,在使用該方法制備的氮摻雜氧化鋅晶體中,觀(guān)察到了氮受主的形成。這一結(jié)果的原因是N在熱退火過(guò)程中替代為淺的施主雜質(zhì)。
      固源化學(xué)氣相淀積法(SS-CVD)也可以用來(lái)氧化鋅的N摻雜。二水醋酸鋅(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(CH3COONH4, solid)分別作為固體源和N源。實(shí)驗(yàn)結(jié)果的樣品顯示出P型導(dǎo)電性,空穴濃度為9.8×1017 cm?3,電阻率20Ωcm,空穴遷移率0.97cm2 /V s。
      盡管上面報(bào)道說(shuō)已經(jīng)成功的獲得了N摻雜的氧化鋅薄膜,但也有相當(dāng)多的報(bào)道,作者沒(méi)有能夠重復(fù)這些結(jié)果,即使采用相同的生長(zhǎng)方式,相同的生長(zhǎng)條件和相同的N源。因此,即使認(rèn)為該報(bào)告的結(jié)果表明是真正的p型氧化鋅,重現(xiàn)這些結(jié)果仍是一個(gè)大問(wèn)題,而且這個(gè)問(wèn)題必須得在氧化鋅應(yīng)用于光電子學(xué),如同質(zhì)結(jié)LED和激光二極管(LDs)之前解決。最后,這個(gè)問(wèn)題至少等到高效率注入的ZnO的p - n結(jié)才能解決。
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